LED专用合金炉主要用于在高温环境下对所加工器件进行退火、合金等工艺。
一、主要技术性能指标
1.外型形式:卧式
2.设计温度 :800℃
3.工作温度:300-600℃
4.等温区长度:根据要求设计mm
5.控温仪表:原装进口,日本岛电高精度控温系统
6.等温区精度:300℃-600℃/±1.5℃
7.单点温度稳定性:300℃--600℃ ±1.5℃
8.升温斜变能力: 可控升温速度:15℃/min
9.气路系统:每管二路,氮气、氮氢混合气体,流量0-10L/min 每管安装氢气点火装置
10.气路管:进口原装,长期使用不生锈
11.气路系统气密性:1×10-7 Pa·M3/S
12.控制系统:采用日本岛电高精度控制器,自动控制整个工艺流程
13.电源:三相五线380V、50Hz
1)三个控制回路:三个控制回路用来进行炉温控制(SPIKE)
2)快速控制:50ms采样周期可在要求高速响应的应用中使用。
3)直观显示:在带背光的三行LCD显示器上同时显示PV、SP控制回路状态
4)高分辨率及高精度:千分之三的高精度温度控制
5)组态灵活:方便组成标准控制、加热和冷却控制、串级控制等。
6)功能强大: 的控制算法可实现自适应 控制。三组PID满足不同温度
段的控温要求,PID参数自整定。
7)温度段数:可储存9段温度工艺曲线